根據相干合成的原理，建立了三路矩形光束相干合成的數學仿真模型，根據數學模型編寫了仿真程序；模擬計算了1～21階澤尼克像差下，單路矩形光束和三路矩形拼接光束的波像差與光束質量β因子關系的擬合系數；建立了波像差與β因子關系的計算表達式。