紫外激光的波長短，能量聚集集中，分辨率高，特別是具有“冷加工”的特性，能直接破壞連接物質的化學鍵，而不產生對外圍的加熱。本文簡要介紹了幾種紫外激光器的原理特點及其發展現狀，并討論了它在激光加工中的應用。